000 00768cam0 2200229 ib4500
001 BY-HO0009-br34544
005 20211220133310.0
010 ^d0,00
100 ^a20091229d1998 u0rusy50 ca
101 0 ^arus
200 1 ^a ЛИТОГРАФИЯ В ПРОИЗВОДСТВЕИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ :УЧЕБ. ПОСОБИЕДЛЯ ПТУ
^fРОДИОНОВ Ю. А.
210 ^aМН.
^cДИЗАЙН ПРО
^d1998
215 ^d93C
610 ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА
686 ^a32.844.1
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9GomCGBimGer
^xRSEK
690 ^a1
^2Vid
^9GomCGBimGer
700 1 ^aРОДИОНОВ Ю. А.
801 0 ^aby
^bBY-HO0009
899 ^aBY-HO0009
^iР60