000 00829cam0 2200205 ib4500
001 BY-HO0000-br292707
005 20211220130545.0
100 ^a20110211d1973 u y0rusy50 ca
101 0 ^arus
200 1 ^aФизико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов
^e[Для вузов по специальности "Технология спец. материалов электронной техники"]
210 ^aМосква
^cМеталлургия
^d1973
215 ^a223 с.
686 ^a34.675
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9RLG
^xRSEK
690 ^a1
^2Vid
^9RLG
700 1 ^aБеляев
^bА. И.
^gАнатолий Иванович
801 0 ^aBY
^bBY-HO0000
^gpsbo
899 ^aBY-HO0000