| 000 | 01884cam0 2200349 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HO0000-br337876 | ||
| 005 | 20211220130956.0 | ||
| 100 | ^a20120808d2012 rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 200 | 1 |
^aФормирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук ^eспециальность 01.04.07 - физика конденсированного состояния ^fКолос Владимир Владимирович ^gБелорусский государственный университет |
|
| 210 |
^aМинск ^d2012 |
||
| 215 | ^a23 с. | ||
| 300 | ^aРезюме на рус., бел. и англ. языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 16-20 (29 назв.) | ||
| 606 | 0 |
^aОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ^3BY-NLB-ar21821 ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^aМОРФОЛОГИЯ (физ.) ^3BY-NLB-ar5289967 ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^aФАЗОВЫЙ СОСТАВ ^3BY-NLB-ar35619 ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^aТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ^3BY-NLB-ar33558 ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^aСИЛИЦИДЫ ^3BY-NLB-ar30000 ^2DVNLB |
|
| 610 | 0 | ^aБыстрая термическая обработка | |
| 686 |
^a22.37 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a22.365.51 ^2rubbk |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9RLG ^xRSEK |
||
| 690 |
^a11 ^2Vid ^9RLG |
||
| 700 | 1 |
^3BY-SEK-326286 ^aКолос ^bВ. В. ^gВладимир Владимирович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20120916 ^gpsbo |
|
| 830 | ^a28.09.2012 | ||
| 899 |
^aBY-HO0000 ^iК61 |
||