| 000 | 02884nam0 2200445 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-NLB-br0001644679 | ||
| 005 | 20201208171443.0 | ||
| 100 | ^a20201002d2020 k||||rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m 000yy | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники ^fВилья Пинеда Номар Альберто ^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2020 |
||
| 215 |
^a21 с. ^cил., табл. |
||
| 300 | ^aРезюме параллельно на белорусском, русском и английском языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 17—18 (10 назв.) | ||
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar11906 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar34171 ^aТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar2644768 ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar55300 ^aМДП-СТРУКТУРЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33870 ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar34161 ^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1756760 ^aДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar9573 ^aДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar19558 ^aНАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar4777100 ^aМАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar23654 ^aПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ ^2DVNLB |
|
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a32.844.15 ^2rubbk |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HO0000 ^xRSEK |
||
| 690 |
^a11 ^2Vid ^9BY-HO0000 |
||
| 700 | 1 |
^3BY-SEK-ar13823980 ^aВилья ^bП. Н. А. ^gПинеда Номар Альберто |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HM0000 ^c20200909 ^gRCR |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20201208 ^gRCR |
|
| 035 | ^a(BY-HO0000)BY-NLB-br0001644679 | ||
| 899 | 0 |
^aBY-HO0000 ^iВ46 |
|