000 02855cam0 2200433 ia4500
001 BY-NLB-br0001727585
005 20220601172752.0
035 ^a(BY-HO0000)BY-NLB-br0001727585
100 ^a20211119d2021 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^dbel
^drus
^deng
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aФормирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
^fНгуен Динь Туен
^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
210 ^aМинск
^d2021
215 ^a20 с.
^cил., табл.
300 ^aРезюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
320 ^aБиблиография: с. 17 (7 назв.)
606 0 ^3BY-NLB-ar39182
^aЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar12136
^aИНФРАКРАСНАЯ ТЕХНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33870
^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar34161
^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2847095
^aОКСИДЫ ВАНАДИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar4777100
^aМАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar34171
^aТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2644768
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar39284
^aЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a34.96
^2rubbk
690 ^a1
^9BY-HO0000
^2Base
^xRSEK
690 ^a11
^9BY-HO0000
^2Vid
700 0 ^3BY-SEK-ar14096742
^aНгуен Динь Туен
^cрадиоэлектроника
712 0 2 ^3BY-NLB-ar186905
^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
^cМинск
^4595
^4995
801 0 ^aBY
^bBY-HM0000
^c20211027
^gRCR
801 2 ^aBY
^bBY-HO0000
^c20220316
^gRCR
899 0 ^aBY-HO0000
^iН37