000 02795cam0 2200445 ia4500
001 BY-HO0000-br644649
005 20220331141139.0
035 ^a(BY-HO0000)BY-HO0000-br644649
100 ^a20220215d2022 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^deng
^dbel
^drus
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aМодифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo)
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
^eспециальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
^fМихалкович Олег Михайлович
^gБелорусский государственный университет
210 ^aМинск
^d2022
215 ^a26 с.
^cил., табл.
300 ^aРезюме параллельно на русском, белорусском, английском языках
320 ^aБиблиография: с. 17—23 (41 назв.)
606 0 ^3BY-NLB-ar3130678
^aФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar14198465
^aИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar34161
^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar60038
^aМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar12168
^aИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24113
^aПОДЛОЖКИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar15096
^aКРЕМНИЙ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar31993
^aСТЕКЛО
^2DVNLB
606 0 ^3BY-SEK-ar1638614
^aМОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3130309
^aИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a22.35
^2rubbk
690 ^a1
^9BY-HO0000
^2Base
^xRSEK
690 ^a11
^9BY-HO0000
^2Vid
700 1 ^3BY-SEK-ar14179728
^aМихалкович
^bО. М.
^gОлег Михайлович
^cфизик
712 0 2 ^3BY-NLB-ar167094
^aБелорусский государственный университет
^cМинск
^4995
712 0 2 ^3BY-NLB-ar2337251
^aБелорусский государственный педагогический университет имени Максима Танка
^cМинск
^4595
801 0 ^aBY
^bBY-HO0000
^c20220331
^gRCR
899 0 ^aBY-HO0000
^iМ69