| 000 | 03396cam0 2200529 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-NLB-br0001833264 | ||
| 005 | 20241106094627.0 | ||
| 100 | ^a20230413d2023 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
^arus ^dbel ^drus ^deng |
|
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m 000yy | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aДвухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники ^fСоколов Сергей Иванович ^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2023 |
||
| 215 |
^a23 с. ^cтабл., ил. |
||
| 300 | ^aРезюме параллельно на бел., рус. и англ. языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.) | ||
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar39076 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar17342 ^aЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar13238 ^aКВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3364070 ^aОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar15677 ^aЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3290293 ^aТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar85368 ^aЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1657703 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar11906 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3334434 ^aСУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar85262 ^aФОТОШАБЛОНЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar24113 ^aПОДЛОЖКИ (электроника) ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1606506 ^aКВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33870 ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33874 ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ^2DVNLB |
|
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a30.616 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a32.844.15 ^2rubbk |
||
| 690 |
^a1 ^9BY-HO0000 ^2Base ^xRSEK |
||
| 690 |
^a11 ^9BY-HO0000 ^2Vid |
||
| 700 | 1 |
^3BY-CNB-ar1062777 ^aСоколов ^bС. И. ^gСергей Иванович |
|
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar186905 ^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ^cМинск ^4995 |
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar4712261 ^aГомельский государственный университет ^4595 |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HM0000 ^c20230413 ^gRCR |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20241106 ^gRCR |
|
| 035 | ^a(BY-HO0000)BY-NLB-br0001833264 | ||
| 899 | 0 |
^aBY-HO0000 ^iС59 |
|