| 000 | 03117cam0 2200457 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-CNB-br5716421 | ||
| 005 | 20241120101931.0 | ||
| 100 | ^a20230919d2023 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
^arus ^dbel ^drus ^deng |
|
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m 000yy | ||
| 109 | ^aac | ||
| 200 | 1 |
^aФормирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники ^fДоан Тхе Хоанг ^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2023 |
||
| 215 |
^a21 с. ^cил., схемы |
||
| 300 | ^aРезюме параллельно на бел., рус., англ. языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 17—18 (13 назв.) | ||
| 517 | 1 | ^aФормирование тонкоплёночных слоёв с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением | |
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar34171 ^aТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar34161 ^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1670946 ^aСЛОЖНЫЕ ОКСИДЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar9573 ^aДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar4777100 ^aМАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar19558 ^aНАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar39284 ^aЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar15827 ^aЛЕГИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a22.379.316 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a32.843.4 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a24.116.1 ^2rubbk |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HO0000 ^xRSEK |
||
| 690 |
^a11 ^2Vid ^9BY-HO0000 |
||
| 700 | 0 |
^3BY-CNB-ar2722762 ^aДоан Тхе Хоанг ^cкандидат технических наук ^cмикроэлектроника |
|
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar186905 ^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ^cМинск ^4595 ^4995 |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HM0005 ^c20230921 ^gRCR |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20241120 ^gRCR |
|
| 035 | ^a(BY-HO0000)BY-CNB-br5716421 | ||
| 899 | 0 |
^aBY-HO0000 ^iД55 |
|