000 04070cam0 2200613 ia4500
001 BY-NLB-br0001891808
005 20241224165713.0
100 ^a20240126d2024 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^deng
^dbel
^drus
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aЛазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
^fШершнев Евгений Борисович
^gУчреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
210 ^aМинск
^d2024
215 ^a45 с.
^cил., табл.
300 ^aРезюме параллельно на бел., рус. и англ. языке
320 ^aБиблиография: с. 30—42 (104 назв.)
606 0 ^3BY-NLB-ar39076
^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar18584
^aМНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ СИСТЕМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2207
^aАЛМАЗЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2300764
^aСИНТЕТИЧЕСКИЕ АЛМАЗЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33870
^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3364070
^aОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar15677
^aЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar85368
^aЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar82810
^aЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3290293
^aТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33866
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar1657703
^aПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33890
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar17280
^aМАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar5212187
^aЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar38712
^aЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar39132
^aЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar17342
^aЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar13234
^aКВАРЦ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2899203
^aКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2320
^aАМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar13238
^aКВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar31993
^aСТЕКЛО
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a34.642.78
^2rubbk
690 ^a1
^9BY-HO0000
^2Base
^xRSEK
690 ^a11
^9BY-HO0000
^2Vid
700 1 ^3BY-SEK-125258
^aШершнев
^bЕ. Б.
^gЕвгений Борисович
^cкандидат технических наук, физик
^fрод. 1960
712 0 2 ^3BY-NLB-ar186905
^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
^cМинск
^4995
712 0 2 ^3BY-NLB-ar170090
^aГомельский государственный университет имени Ф. Скорины
^4595
801 0 ^aBY
^bBY-HM0000
^c20240126
^gRCR
801 2 ^aBY
^bBY-HO0000
^c20241224
^gRCR
035 ^a(BY-HO0000)BY-NLB-br0001891808
899 0 ^aBY-HO0000
^iШ50