000 03106cam0 2200469 ia4500
001 BY-HO0000-br696452
005 20250109101145.0
035 ^a(BY-HO0000)BY-HO0000-br696452
100 ^a20240521d2024 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^dbel
^drus
^deng
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aПовышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
^eспециальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин
^fКовенский Алексей Евгеньевич
^gГосударственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси"
210 ^aМинск
^d2024
215 ^a24 с.
^cил., цв. ил.
300 ^aРезюме параллельно на рус., бел., англ. языках
320 ^aБиблиография: с. 20—21( 20 названий)
606 0 ^3BY-NLB-ar39076
^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar25440
^aПРИВОДЫ (техн.)
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar1801
^aАДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2113377
^aМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar17342
^aЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24588
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24620
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24113
^aПОДЛОЖКИ (электроника)
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar27847
^aРЕЗКА (технол. процесс)
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3335454
^aПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33890
^aТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar6167885
^aПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
^2DVNLB
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a34.447
^2rubbk
686 ^a32.843.3
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9BY-HO0000
^xRSEK
690 ^a11
^2Vid
^9BY-HO0000
700 1 ^3BY-CNB-ar2423189
^aКовенский
^bА. Е.
^gАлексей Евгеньевич
^cэлектронная техника
712 0 2 ^3BY-NLB-ar2492220
^aОбъединенный институт машиностроения
^cМинск
^4595
^4995
801 0 ^aBY
^bBY-HO0000
^c20250109
^gRCR
899 0 ^aBY-HO0000
^iК56