000 02248cam0 2200481 ib4500
001 BY-HO0000-br725970
005 20250801091803.0
035 ^a(BY-HO0000)BY-HO0000-br725970
100 ^a20250713d1986 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^ceng
102 ^aRU
105 ^aa z 001yy
109 ^aca
200 1 ^aСилициды для СБИС
^fШ. Мьюрарка
^gпер. с анг. В. В. Баранова
^gред. и предисл. Ю. Д. Чистякова
210 ^aМосква
^cМир
^d1986
^eNew York etc.
215 ^a176 с.
^cил., табл.
^d21 см
300 ^aПеревод изд.: Silicides for VLSL applications / S. P. Murarka (New York etc.)
320 ^aБиблиография: с. 160—169
320 ^aПредметный указатель: с. 170—174
345 ^94 000 экз.
532 1 2 ^aСилициды для сверхбольших интегральных схем
606 0 ^3BY-NLB-ar18370
^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar30000
^aСИЛИЦИДЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24592
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar38892
^aЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar11906
^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2121092
^aСВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar21561
^aОКИСЛЕНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar33574
^aТЕРМОДИНАМИКА
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2747744
^aЭКСПЕРИМЕНТЫ
^2DVNLB
608 ^3BY-NLB-ar44954
^aМОНОГРАФИЯ
^2BYGNR
675 ^a661.685
686 ^a32.844.1
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9BY-HO0000
^xRSEK
690 ^a1
^2Vid
^9BY-HO0000
700 1 ^aМьюрарка
^bШ.
^gШиям П.
702 1 ^3BY-SEK-269990
^aБаранов
^bВ. В.
^gВалентин Владимирович
^cдоктор технических наук
^fрод. 1949
^4730
702 1 ^3BY-RLST-ar451557
^aЧистяков
^bЮ. Д.
^gЮрий Дмитриевич
^4340
^4080
801 0 ^aBY
^bBY-HO0000
^c20250801
^gRCR
899 0 ^aBY-HO0000
^iМ96