| 000 | 01232cam0 2200289 ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HO0000-br252588 | ||
| 005 | 20211220130451.0 | ||
| 010 | ^a5-256-00861-7 | ||
| 100 | ^a20090727d1991 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 105 | ^ay ||||000yy | ||
| 109 | ^aaa | ||
| 200 | 1 |
^aТехнология производства интегральных микросхем ^e[учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 2002 "Пр-во изделий электрон. техники"] ^fИ. А. Малышева |
|
| 205 |
^a2-е изд. ^bперераб. и доп. |
||
| 210 |
^aМ. ^cРадио и связь ^d1991 |
||
| 215 |
^a343, [1] с. ^cил. |
||
| 300 | ^aЗагл. 1-го изд.: Технология производства микроэлектронных устройств | ||
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 338 | ||
| 320 | ^aПредм. указ.: с. 338-342 | ||
| 686 |
^a32.844.15 ^2rubbk |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Base ^xRSEK |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Vid |
||
| 700 | 1 |
^3BY-CNB-a273609 ^aМалышева ^bИ. А. ^gИдея Александровна |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20050525 ^gPSBO |
|
| 899 |
^aBY-HO0000 ^iМ20 |
||