| 000 | 01247cam0 2200301 ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HO0000-br252600 | ||
| 005 | 20211220130451.0 | ||
| 010 | ^a5-256-00062-4 | ||
| 100 | ^a20080515d1988 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^ay ||||000yy | ||
| 109 | ^aga | ||
| 200 | 1 |
^aОборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы ^eучеб. для сред. спец. учеб. заведений ^fЮ. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков |
|
| 210 |
^aМосква ^cРадио и связь ^d1988 |
||
| 215 |
^a320 с. ^cил. |
||
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 318 | ||
| 608 |
^3BY-NLB-ar35521 ^aУЧЕБНИКИ ^2BYGNR |
||
| 686 |
^a32.844.15-5 ^2rubbk |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Base ^xRSEK |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Vid |
||
| 700 | 1 |
^3BY-RLST-ar161196 ^aПанфилов ^bЮ. В. ^gЮрий Васильевич |
|
| 701 | 1 |
^3BY-RLST-ar370584 ^aРябов ^bВ. Т. ^gВладимир Тимофеевич |
|
| 701 | 1 |
^3BY-RLST-ar370585 ^aЦветков ^bЮ. Б. ^gЮрий Борисович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20080515 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-HO0000 ^iП16 |
||