| 000 | 00986cam0 2200265 ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HO0000-br252843 | ||
| 005 | 20211220130452.0 | ||
| 010 | ^a5-06-001082-3 | ||
| 100 | ^a20090730d1990 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa 000yy | ||
| 109 | ^aga | ||
| 200 | 1 |
^aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники ^eучеб. для проф.-техн. училищ ^eв 10 кн. ^hКн. 10. ^iКонтроль качества ^fЮ. Г. Семенов |
|
| 210 |
^aМосква ^cВысш. шк. ^d1990 |
||
| 215 |
^a111 с. ^cил. |
||
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 109 | ||
| 686 |
^a32.852-06 ^2rubbk |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Base ^xRSEK |
||
| 690 |
^9RLG ^a1 ^2Vid |
||
| 701 | 1 |
^3BY-RLST-ar369534 ^aСеменов ^bЮ. Г. ^gЮрий Григорьевич |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HO0000 ^c20080423 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-HO0000 ^iТ38 |
||