000 01023cam0 2200277 ib4500
001 BY-HO0009-br18044
005 20211220132937.0
010 ^a4-492-09151-3
^d17818
100 ^a20091229d2007 u u0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aru
105 ^a||||||||000|y
200 1 ^aВведение в нанотехнологию
^bТекст
^fН. Кобаяси
^gпер. с яп. А. В. Хачояна; под ред. Л. Н. Патрикеева
210 ^aМ.
^cБином. Лаборатория знаний
^d2007
215 ^a134
610 ^aНАНОТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
^2689
^320000403075828
686 ^a32.844.1
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9GomCGBimGer
^xRSEK
690 ^a1
^2Vid
^9GomCGBimGer
700 1 ^aКобаяси
^bН.
701 1 ^bН.
^aКобаяси
702 1 ^aА. В. Хачояна; под ред. Л. Н. Патрикеева
^420041119111251
801 0 ^aby
^bBY-HO0009
899 ^aBY-HO0009