1. Ковенский, А. Е. Повышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковенский Алексей Евгеньевич ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси". — ББК 34.447. — ББК 32.843.3Издательство: Минск, 2024Физическая характеристика: 24 с. : ил., цв. ил.

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: