Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Доан Тхе Хоанг ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

035 ## - Идентификатор записи другой системы
Контрольный номер системы (BY-HO0000)BY-CNB-br5716421
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20230919d2023 k y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
Язык аннотации или реферата bel
-- rus
-- eng
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
105 ## - Поле кодированных данных: текстовые документы – монографические
Кодированные данные о текстовом документе, описываемом на монографическом или аналитическом уровне a m 000yy
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
-- специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Первые сведения об ответственности Доан Тхе Хоанг
Последующие сведения об ответственности Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Минск
Дата издания, распространения и т.д. 2023
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 21 с.
Другие уточнения физических характеристик ил., схемы
300 ## - Общие примечания
Текст примечания Резюме параллельно на бел., рус., англ. языках
320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя
Текст примечания Библиография: с. 17—18 (13 назв.)
517 1# - Другие варианты заглавия
Вариант заглавия Формирование тонкоплёночных слоёв с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением
606 0# - Наименование темы, используемое как предмет
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34171
Начальный элемент ввода ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34161
Начальный элемент ввода ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar1670946
Начальный элемент ввода СЛОЖНЫЕ ОКСИДЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar9573
Начальный элемент ввода ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar4777100
Начальный элемент ввода МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar19558
Начальный элемент ввода НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar39284
Начальный элемент ввода ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar15827
Начальный элемент ввода ЛЕГИРОВАНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 22.379.316
Код классификации rubbk
Индекс 32.843.4
Код классификации rubbk
Индекс 24.116.1
Код классификации rubbk
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 1
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-HO0000
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
Начальный элемент ввода (или индекс) 11
Код системы Vid
Код библиографирующего учреждения BY-HO0000
700 #0 - Имя лица - первичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-CNB-ar2722762
Начальный элемент ввода Доан Тхе Хоанг
Дополнение к именам, кроме дат кандидат технических наук
-- микроэлектроника
712 02 - Наименование организации - вторичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar186905
Начальный элемент ввода Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию Минск
Код отношения 595
-- 995
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20230921
Правила каталогизации RCR
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20241120
Правила каталогизации RCR
899 #0 - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ Д55
999 ## - Лица – составители записи
Комплектатор 239
Дата выполнения работы 20241120
Языки: