[Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники] : [монография] / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси

Автор(ы): Мартынов, Валерий Владимирович, доктор технических наук;
                   Точицкий, Яков Иванович, кандидат технических наукОтветственные организации: Национальная академия наук Беларуси, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск : Беларуская навука, 2018Физическая характеристика: 466, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. ; 25 смISBN:978-985-08-2323-6.ББК: 32.844.2 ; 22.161.542 ; 22.342Note(s): На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет; Библиография: с. 458—461 (100 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.) | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ | ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ | МИКРОЭЛЕКТРОНИКА | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | ТОПОЛОГИЯ | ЛИТОГРАФИЯ (электроника) | ФОТОЛИТОГРАФИЯ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Книги, брошюры Книги, брошюры
ГОУБ. Отдел хранения основного фонда
Выдается

На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет

Библиография: с. 458—461 (100 назв.)

100 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: