Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Автор(ы): Наливайко, Олег ЮрьевичОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск;
                   "Интеграл", открытое акционерное общество, Минск, Управляющая компания холдинга "Интеграл"Язык документа: Русский ; of summary,Английский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2022Физическая характеристика: 25 с. : ил.ББК: 32.844.15 ; 32.853Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках; Библиография: с. 17—22 (47 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ | ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ | ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ | ЛЕГИРОВАНИЕ | ФОСФОР | ВОЛЬФРАМ | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОУБ. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

Библиография: с. 17—22 (47 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: