Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Агейченко, Александр Степанович, кандидат технических наук, электроникаОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2014Физическая характеристика: 24 с. : ил., табл.ББК: 32.85 ; 31.2Note(s): Резюме на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 17—21 (33 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ | КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ | МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ | ФОТОЛИТОГРАФИЯ | ПРОЕЦИРОВАНИЕ | АВТОРЕФЕРАТЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОУБ. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 17—21 (33 назв.)

60 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: