1. Наливайко, О. Ю. Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. — ББК 32.844.15. — ББК 32.853Издательство: Минск, 2022Физическая характеристика: 25 с. : ил.

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: