Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 - физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович ; Белорусский государственный университет

100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20120808d2012 rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
-- специальность 01.04.07 - физика конденсированного состояния
Первые сведения об ответственности Колос Владимир Владимирович
Последующие сведения об ответственности Белорусский государственный университет
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Минск
Дата издания, распространения и т.д. 2012
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 23 с.
300 ## - Общие примечания
Текст примечания Резюме на рус., бел. и англ. языках
320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя
Текст примечания Библиография: с. 16-20 (29 назв.)
606 0# - Наименование темы, используемое как предмет
Начальный элемент ввода ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar21821
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Начальный элемент ввода МОРФОЛОГИЯ (физ.)
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar5289967
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Начальный элемент ввода ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar35619
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Начальный элемент ввода ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar33558
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Начальный элемент ввода СИЛИЦИДЫ
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar30000
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
610 0# - Неконтролируемые тематические термины
Тематический термин Быстрая термическая обработка
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 22.37
Код классификации rubbk
Индекс 22.365.51
Код классификации rubbk
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 1
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения RLG
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
Начальный элемент ввода (или индекс) 11
Код системы Vid
Код библиографирующего учреждения RLG
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-326286
Начальный элемент ввода Колос
Часть имени, кроме начального элемента ввода В. В.
Полная форма имени и отчества лица Владимир Владимирович
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20120916
Правила каталогизации psbo
830 ## - Общее примечание, составленное каталогизатором
Текст примечания 28.09.2012
899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ К61
999 ## - Лица – составители записи
Комплектатор 70
Дата выполнения работы 20120916
Языки: