Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 - физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович ; Белорусский государственный университет

Автор(ы): Колос, Владимир ВладимировичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2012Физическая характеристика: 23 с.ББК: 22.37 ; 22.365.51Note(s): Резюме на рус., бел. и англ. языках; Библиография: с. 16-20 (29 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | МОРФОЛОГИЯ (физ.) | ФАЗОВЫЙ СОСТАВ | ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА | СИЛИЦИДЫ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОУБ. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме на рус., бел. и англ. языках

Библиография: с. 16-20 (29 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: