Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

035 ## - Идентификатор записи другой системы
Контрольный номер системы (BY-HO0000)BY-NLB-br0001833264
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20230413d2023 k y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
Язык аннотации или реферата bel
-- rus
-- eng
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
105 ## - Поле кодированных данных: текстовые документы – монографические
Кодированные данные о текстовом документе, описываемом на монографическом или аналитическом уровне a m 000yy
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
-- aa
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
-- специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Первые сведения об ответственности Соколов Сергей Иванович
Последующие сведения об ответственности Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Минск
Дата издания, распространения и т.д. 2023
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 23 с.
Другие уточнения физических характеристик табл., ил.
300 ## - Общие примечания
Текст примечания Резюме параллельно на бел., рус. и англ. языках
320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя
Текст примечания Библиография: с. 17—20 (34 назв.)
606 0# - Наименование темы, используемое как предмет
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar39076
Начальный элемент ввода ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar17342
Начальный элемент ввода ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar13238
Начальный элемент ввода КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar3364070
Начальный элемент ввода ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar15677
Начальный элемент ввода ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar3290293
Начальный элемент ввода ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar85368
Начальный элемент ввода ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar1657703
Начальный элемент ввода ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar11906
Начальный элемент ввода ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar3334434
Начальный элемент ввода СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar85262
Начальный элемент ввода ФОТОШАБЛОНЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar24113
Начальный элемент ввода ПОДЛОЖКИ (электроника)
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar1606506
Начальный элемент ввода КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar33870
Начальный элемент ввода ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar33874
Начальный элемент ввода ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 30.616
Код классификации rubbk
Индекс 32.844.15
Код классификации rubbk
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 1
Код библиографирующего учреждения BY-HO0000
Код системы Base
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
Начальный элемент ввода (или индекс) 11
Код библиографирующего учреждения BY-HO0000
Код системы Vid
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-CNB-ar1062777
Начальный элемент ввода Соколов
Часть имени, кроме начального элемента ввода С. И.
Полная форма имени и отчества лица Сергей Иванович
712 02 - Наименование организации - вторичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar186905
Начальный элемент ввода Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию Минск
Код отношения 995
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar4712261
Начальный элемент ввода Гомельский государственный университет
Код отношения 595
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20230413
Правила каталогизации RCR
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20241106
Правила каталогизации RCR
899 #0 - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ С59
999 ## - Лица – составители записи
Комплектатор 229
Дата выполнения работы 20241106
Языки: