Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Соколов, Сергей ИвановичОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск;
                   Гомельский государственный университетЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2023Физическая характеристика: 23 с. : табл., ил.ББК: 30.616 ; 32.844.15Note(s): Резюме параллельно на бел., рус. и англ. языках; Библиография: с. 17—20 (34 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ | КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО | ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ | ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА | ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ | ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА | ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | ФОТОШАБЛОНЫ | ПОДЛОЖКИ (электроника) | КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОУБ. Отдел краеведения
Выдается

Резюме параллельно на бел., рус. и англ. языках

Библиография: с. 17—20 (34 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: